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(2)真空管路设计:真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配,避免大马拉小车现象。(3)检漏系统设计:首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能,系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警,防止出现大漏后,继续执行氦检工艺,造成系统累积大量氦气而无法清除,也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏,应有清氦措施,大程度的清除氦本底。
通常“两器”检测标准不会超过1克/年。(3)检测节拍要求:据调查一般的两器生产厂家年产量都会在十万只以上,真空氦质谱检漏仪,要实现所有产品全部使用氦检测,就要求氦检测节拍越快越好。中科科美生产的氦检系统,针对冷凝器检漏节拍在40秒/件,针对蒸发器检漏可达20秒每件;(4)氦气回收要求:氦检漏系统使用氦气作为示踪气体,由于氦气比较贵重,如果直接排放,必然导致检测成本的大幅增加。因此,一般厂家都会要求氦气可回收,即循环利用。KYKY生产的氦检系统,氦气回收率可达95%以上。
这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点,而空调器的焊点多达几百处,所以单独使用效率低;②吸法的精度与多种因素有关,如果吸与漏孔距离大于10mm时,所检漏率只有实际漏率的3~5%,如果吸的移动速度达到16mm/s,灵敏度将降到30%。由此可见,操作不当极易产生漏检;③吸法只能测单个漏点是否超标,而不能判断整体漏率情况。