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选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度高，珠海真空箱氦检漏系统，使用普遍的一种检漏仪器。（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，在质谱室内能与相邻物质很好的分离（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小。（3）***，非可燃性气体。（4）惰性气体，真空箱氦检漏控制系统，不易发生化学反应。（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。

真空设备安装调试过程中的检漏步骤安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。

大型、复杂真空设备好采用分段检漏，每装上一个部件，真空箱氦检漏系统价格，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，给总体检漏带来极大困难。真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：1、了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点部位。