博为光电|操作便捷-安徽真空氦检

检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。

专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后，如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直，它的运动轨迹为圆，不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕，表面光滑，焊后焊缝表面磨光，同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁，表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，真空氦检，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力，尽量避免斜向受力。