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氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动,而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法:在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。
另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要***行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。 氦气在空气中含量非常少,只有5ppm(空气中占约1/200,000);在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少;由于氦分子量小、分子直径小(在元素周期表中在仅排在氢的后面),即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过;由于具有化学上的不活跃性,不会污染排气系统及被测试物体, 由于具有对人体无害性和不可燃爆性,因此使用安全方便; 对分析管的分辨率要求并不高,容易实现高灵敏度;不存在环境污染问题。为什么要检漏?泄漏和密封相对应很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。
真空法氦质谱检漏:采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法:在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,软包锂电池氦检设备,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。部件-分子泵,采用*检漏仪用的分子泵。 美国AD放大器,有效降低了检漏仪本身的噪音,提高了检漏仪的灵敏度。 180度非均匀磁场的质谱室设计,对焦准确,灵敏度高。 检漏口耐压高,可检漏率量程宽,大漏小漏全可检。 离子源灯丝采用氧化钇铱金灯丝,寿命长、灵敏度高。 检漏状态下的三屏切换,信息更丰富,检漏更方便。 具有快速清氦功能和快速响应功能。检漏状态一键清零。 全自动液晶触摸彩屏显示,实现了智能自动化,操作方便、简单可靠。 中英文菜单。