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气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能,它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的值数。好的灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在佳条件下所能检测出的小漏率。对于检漏仪器来讲,灵敏度又称作仪器灵敏度。检漏灵敏度是指在具体条件下,某种检漏方法所能检测出的小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。反应时间,即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。消除时间,即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。漏率,即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
采用真空压力法检漏时,需要将被检产品整体放入真空密封室内,真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连,被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后,再与氦气源相连,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入真空密封室,再进入氦质谱检漏仪,真空箱氦检漏系统报价,从而实现被检产品总漏率的测量。真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。
缺点:初始成本投入高;在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念(1)标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置;(2)标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置;(3)标准漏孔与检漏仪的关系:如果把检漏仪看成是天平,则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用:(1)用于检漏仪校准;(2)用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。