博为光电|操作便捷-南平氦质谱真空箱检漏系统

氦质谱检漏方法分析氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，氦质谱真空箱检漏系统，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5。0×10-12Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5。0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。

这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点，而空调器的焊点多达几百处，所以单独使用效率低；②吸法的精度与多种因素有关，如果吸与漏孔距离大于10mm时，所检漏率只有实际漏率的3~5%，如果吸的移动速度达到16mm/s，灵敏度将降到30%。由此可见，操作不当极易产生漏检；③吸法只能测单个漏点是否超标，而不能判断整体漏率情况。

检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。