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质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动,与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞,使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪,通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪,是一种只检测氦的特殊质谱仪,可以屏蔽其它品质的气体。氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。
检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先,用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求,安徽检漏仪,需要从制造商那里购买新产品。氦质谱泄漏检测仪是一种气密性检测仪,氦检漏仪费用,由氦气作为泄漏气体制成。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部件组成。氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点,氦气检漏仪,并在发现泄漏点后及时清洗固定,以免影响检漏;使用时,注意观察氦泄漏探测器的工作情况。
氦质谱检漏仪的基本原理是,不同质荷比的离子在磁场中运动时,其偏转半径不同,从而实现不同类型离子的分离。如果装有液体或气体的容器内外有压差,就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏,后果严重,一般会造成有效材料的浪费,如有毒材料和腐蚀性气体泄漏,甚至导致事故。传统仪器采用反流法放置在主泵前端,使检验部件放置在检漏仪前。因此,它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统,灵敏度可达10-12微米。