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关于真空检漏漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔,由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示),无法用几何尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小时,如果不加特殊说明,则是指在漏孔入口压力为1。01×105Pa,出口压力低于1。33×103Pa,温度为296士3K的标准条件下,单位时间内流过漏孔的温度低于248K的空气的气体量。漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,记为Pam3/s。为了方便,有时用帕斯卡×升/秒,记为PaL/s。
与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计,系统原理简图如图一所示,两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程,氦检漏系统,比如一个工位在检漏时,另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。
真空设备制造过程中的检漏在设备的加工阶段,有必要跟随加工工艺(尤其是焊接工艺)及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件,焊缝质量要严格检漏,不合格的及时重焊、补焊并重新检漏,符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工,中间过程的检漏十分关键,必要时应该设计、制造专门的检漏工具(如探漏盒、盲板等)。