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氦检漏法氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体,由于氦气的荷质比小,在检漏过程中不受其它气体的干扰,因此,它是一种反应灵敏,能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa。m3。s-1。运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是:通过其部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同荷质比的离子在场中彼此分开,而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子,就会得到按照荷质比大小,依次分开排列的质谱图,这就是质谱。
关于真空检漏大容许漏率真空系统漏气是的,不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和大容许漏率的概念联系在一起的。对于动态真空系统,只要其平衡压力能够达到所要求的真空度,这时即使存在着漏孔,也可以认为该系统的漏率是容许的,该情况下系统的漏率称为大容许漏率。动态真空系统的大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS(1)式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统,要求在一定时间内,其压力维持在容许的压力以下,这时即使存在着漏孔,同样叮以认为该系统的漏率是容许的,该情况下系统的漏率称为大容许漏率。如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p升至pt,真空箱氦检漏控制系统,则其大容许漏率qLmax应满足qLmax≤(pt-p)V/t(2)。
加工制造过程中,严格执行真空作业卫生和作业规范,对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后,需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面,应该具有保护措施,严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时,更应精心作业,尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。