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有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。氦质谱检漏仪同其它检方法相比,除检漏方法不同之外,以它的检测灵敏度高、速度快,可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒,无危险的隋性气体氦为示踪气体,使它成为今天检漏仪器当中的。氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法:在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,防水检漏仪,即喷氦法(负压法),吸法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。
检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成,而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。近年来由于电子工业的发展,空间探索活动的增加,检漏技术得到了快速发展,它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。 氦气在空气中含量非常少,只有5ppm(空气中占约1/200,000);在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少;由于氦分子量小、分子直径小(在元素周期表中在仅排在氢的后面),即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过;由于具有化学上的不活跃性,不会污染排气系统及被测试物体, 由于具有对人体无害性和不可燃爆性,因此使用安全方便; 对分析管的分辨率要求并不高,容易实现高灵敏度;不存在环境污染问题。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,氮氢检漏仪,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,检漏仪,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。正压法氦质谱检漏:采用正压法检漏时,制冷系统检漏仪,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。