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氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。 氦质谱检漏仪检漏也是无损检测(X射线、涡流、超声等)的多种方法中的一种,是压力容器无损检测的佳形式。广泛应用于航天、航空、、电子零部件、真空设备、电真空、电力、石化、半导体前道、空调制冷等新技术的领域。很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用下,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),合肥检漏仪,要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,检漏仪装置,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要***行检漏,使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。
有两种方式可以检测出泄漏:1. 示踪气体 A 放在容器里面,处于正压,然后用仪器去检测,防水检漏仪,容器周边是否有气体 A,如果容器外有气体 A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面,用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。氦质谱检漏仪同其它检方法相比,除检漏方法不同之外,以它的检测灵敏度高、速度快,可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒,无危险的隋性气体氦为示踪气体,使它成为今天检漏仪器当中的。氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法:在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),检漏仪公司,吸法(正压法),氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动,而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离,这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。