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检漏仪给出的漏率值为测量漏率,需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏。
缺点:初始成本投入高;在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念(1)标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置;(2)标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置;(3)标准漏孔与检漏仪的关系:如果把检漏仪看成是天平,氦检漏系统,则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用:(1)用于检漏仪校准;(2)用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
由于每款检漏仪校准方法各不相同,限于篇幅,本文不作详述。值得一提的是,一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后,漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准,通常漏孔每年校准一次。2)外部校准外部校准即是对整个检漏系统校准,系统使用一段时间后,系统的分流因子可能会发生改变,因此需要定期使用标准漏孔来校准系统,以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。