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由于空气中氦气,氦质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出极为弱小的讯号,从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体,具有分子小,质量轻,扩散快,真空氦质谱检漏仪,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计,系统原理简图如图一所示,两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程,比如一个工位在检漏时,另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。
由于每款检漏仪校准方法各不相同,限于篇幅,本文不作详述。值得一提的是,一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后,漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准,通常漏孔每年校准一次。2)外部校准外部校准即是对整个检漏系统校准,系统使用一段时间后,系统的分流因子可能会发生改变,因此需要定期使用标准漏孔来校准系统,以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。