博为光电|性能稳定-韶关真空氦质谱检漏仪

双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，真空氦质谱检漏仪，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

真空氦检技术在钢桶气密性检测中的应用一、漏率的含义漏率的概念及单位：漏率也叫漏气速率，是指处于压差下的气体，在单位时间内通过漏孔流向低压端的气体量。Q=Δ(P·V)/ΔT常用的漏率单位：毫巴·升/秒mbar·l/s；帕·立方米/秒pa·m3/s。二、几种工业上的气体检漏方法1、水泡法这是钢桶标准的测漏试验方法。

关于真空检漏1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。