浙江氦质谱真空检漏-博为光电|品质保障

关于真空检漏1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。

与被检工件相连的是充气回收装置，氦质谱真空检漏，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

真空箱氦检漏系统在两器使用经验实际产品漏率报警阈值的设定在对空调两器检测时，对产品报废点的设置非常关键，指标要求过高，将会带来大批量产品不合格，太低又保证不了产品质量。正确确定产品的报警点需要以下步骤：(1)将冷媒漏率换算成气体漏率在对空调两器进行泄露检测时，常使用气体取代制冷剂进行泄露检测，因此，需要将液体漏率与气体漏率之间作一个等效转换。