氦质谱真空检漏-博为光电(推荐商家)

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术

（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕，氦质谱真空检漏， 表面光滑， 焊后焊缝表面磨光， 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁， 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力，尽量避免斜向受力。

（2）真空管路设计：真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配，避免大马拉小车现象。

（3）检漏系统设计：首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能，系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警，防止出现大漏后，继续执行氦检工艺， 造成系统累积大量氦气而无法清除，也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏，应有清氦措施，大程度的清除氦本底。

真空箱氦检漏系统

性能特点：

高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。

干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。

全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气。

氨气回收率高达98%以上

。 多独立工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。

微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。

人机交互界面，实时监测及诊断。

自动判断，声光提示。

输出设备，全数字显示检测结果。

，系统采用配置 确保，自动故障检测。

可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。

高密封性能

专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。

真空箱氦检漏系统

性能特点：

高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。

干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。

全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气。

氨气回收率高达98%以上

。 多独立工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。

微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。

人机交互界面，实时监测及诊断。

自动判断，声光提示。

输出设备，全数字显示检测结果。

，系统采用配置 确保，自动故障检测。

可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。

高密封性能

专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。

双工位氦检漏系统构成

（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。

（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。

（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。

（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。

（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。