南平真空氦检漏系统-博为光电|操作便捷

不同真空范围内的抽气时间计算

中真空领域的抽气时间计算

这里所指的中真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。

真空抽气要考虑的要素：

(1)到达真空度；

(2)抽气速度；

(3)导通率；

(4)实际抽气速度；

(5)气体放出率；

(6)漏率。

用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：

（1）选择表面放出气体少的材料；

（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；

（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。

真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，真空氦检漏系统，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。

一般来说漏点越大，获的氦气分子量就越多，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。

氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。

真空设备制造过程中的检漏

在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。

在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。

加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。