合肥真空氦检漏回收系统-博为光电|产品众多(图)

氦质谱检漏仪的基本原理与组成

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。

目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。

由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。

利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开

真空检漏技术

一、真空系统的漏气

1.漏气的定义

真空系统不可能不漏气，但符合以下条件可视为不漏气：

（1）真空系统的终压力可以达到；

（2）在正常操作时间范围内，真空系统可以达到并维持预期的压力范围。

2.漏气的判定

当真空系统操作时不能达到预期的压力范围，或者操作时间超过正常操作时间才能达到预期的压力范围，此时常被怀疑为漏气。但这有可能是真空室器壁吸附的气体被释放出来造成的，此即为假漏。因此，需要在检漏之前判断真空系统是否为假漏。

常用简单判断假漏与真漏的方法为：将真空系统停止抽气，然后观察真空计的变化。若真空计压力一直上升，则为真漏；若压力上升到一定值后停止不变，则为假漏。

汽机真空系统检漏方法

氦质谱检漏检漏：链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿着氦气喷，喷遍所有的可以漏点，同时保持和分析仪器端点的人员联系，如果端点接收到氦气，真空氦检漏回收系统，说明喷附近有漏点，再反复查找，争取确定吸空的泄漏点。缺点是，由于氦气易挥发，特别是迅速上漂到一大片面积。难以定为漏点。对于死角难以攀登喷气。类似的方法还有卤素法等。

氦质谱检漏，不适用于空冷岛检漏。空冷岛的露天倾斜结构，使得氦气瞬间挥发掉，特别是遇到有风的天气。