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氦质谱检漏仪的基本原理与组成
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的,现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下,离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算:
R=1.8(MU)^1/2/H
式中,R为偏转半径(cm);H为磁场强度(A/m);M为有效质量,即离子质量和电荷质量之比;U为加速电压(V)。
由上式可以看出,当H和U为定值时,对应于不同的M,有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2,到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流测量设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1、M3)则以不同的偏转半径而被分开
真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
真空应用设备哪些部位容易出现泄漏,应该如何检漏?
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位,它关系到真空设备的各项真空指标,如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪,其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。
一、氦质谱检漏仪是如何工作的?
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,真空箱氦检漏系统厂家,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束