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空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，充气柜检漏设备系统，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄漏情况。

现有的氦检漏设备如图1所示包括箱体a，箱体a上设置有滑动门b，充气柜检漏设备，通过滑动门b实现对箱体a密封，箱体a内设有辊筒c，工作放在辊筒c上可以方便移动位置进行检测。由于辊筒c的位置是固定不动的，需要人工将工件搬运到辊筒c上，当工件较大时，工人劳动强度大，还存在安全隐患。

充气柜检漏对于高压和超高压设备，为降低柜体内微水量，可采用继续保压6-10小时继续抽真空，来降低微水值。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。检测完毕产品所谓充气柜是将高压元件如母线、断路器、隔离开关、互感器等密封在充有较低压力(0.1～0.5mpa)sf6或其他气体的壳体内。

真空箱氦检漏回收设备的基本原理描述如下:灯丝产生的热电子加速流入阳极，遇到气体分子后电离。当离子向收集器方向运动时，充气柜检漏设备报价，设置一个磁场，使离子在洛伦兹力的作用下沿圆形轨迹运动。质量为m、电荷为e的离子的圆轨道半径与质荷比m/e有关。适当设置出气口的位置，使m/e=4，即He+可以通过出气口，而与氦不同质荷比的其他离子不能通过出气口。由于其偏转半径与仪器的狭缝设置不同，真空箱的氦检漏回收装置只能检测一价氦离子。真空箱氦气检漏回收装置性能稳定，灵敏度高。评价真空箱氦气检漏回收设备的主要指标是灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、