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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。

定期的泄漏检测很重要

大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。

汽机真空系统检漏方法

氦质谱检漏检漏：链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿着氦气喷，真空箱氦检漏设备哪种好，喷遍所有的可以漏点，同时保持和分析仪器端点的人员联系，如果端点接收到氦气，说明喷附近有漏点，再反复查找，争取确定吸空的泄漏点。缺点是，由于氦气易挥发，特别是迅速上漂到一大片面积。难以定为漏点。对于死角难以攀登喷气。类似的方法还有卤素法等。

氦质谱检漏，不适用于空冷岛检漏。空冷岛的露天倾斜结构，使得氦气瞬间挥发掉，电力真空箱氦检漏设备公司，特别是遇到有风的天气。

真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，真空箱氦检漏设备哪家好，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，福建真空箱氦检漏设备，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。

其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。

所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。