博为光电|性能稳定-氦质谱真空箱检漏系统

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，汕尾真空箱氦检漏系统，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦质谱真空箱检漏系统，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。

真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压升测试

压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门，真空箱氦检漏系统报价，放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高（反弹），将压力增加除以经过时间，可以计算出真空系统的压力上升速率，并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，对于一般的工业真空设备，保压测试时，超过1Pa/hr的压升率就需要调查和解决问题，有些高真空的设备，需要0.5Pa/hr甚至更低的压升率

如果多次测量的压升率基本恒定不变，那么很可能系统有真实的泄漏。对应的，随着时间的推移，其压升率下降，即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢，真空箱式氦检漏系统，则暗示有虚漏或放气（可能也有小的泄漏）。

关于真空检漏

大容许漏率

真空系统漏气是的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和大容许漏率的概念联系在一起的。

对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为大容许漏率。动态真空系统的大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤1/10PwS (1)

式中Pw----系统工作压力

S----系统的有效抽速

对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为大容许漏率。如果要求在时间t内，容积为V的系统的压力由p升至pt，则其大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤(pt-p)V/t (2)