真空氦质谱检漏仪-博为光电(推荐商家)

检漏

1.真空计测漏

一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。

2.检漏仪测漏

将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，真空氦质谱检漏仪，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术

工作原理：

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

真空检漏的具体方法

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：

①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。

②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些，重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

综上三种问题，通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。

双工位氦检漏系统构成

（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。

（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。

（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。

（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。

（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。