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真空设备设计中的注意事项

1、根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的大允许漏率，并依据这一总漏率确定各组成部件的大允许漏率。

2、根据设备的大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法，并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。

3、根据设备或部件的大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度，以及何种动密封形式能够满足要求。如，法兰采用金属密封或橡胶密封。

4、容器结构强度设计时，考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。

5、选择零部件结构材料时，考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。

6、结构设计时，在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口，以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统，通常需要采用分段检漏方法，因此在管路上要设置分段隔离的阀门，并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。

7、零件结构设计时，尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏。从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。

8、与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏；而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检漏。

9、焊接结构设计时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。

真实的泄漏可以通过检漏找到，真空氦检漏设备报价，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。

自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践

整套使用PLC自动化控制，触摸屏显示信息流程，自动化控制流程如下：

①操作员(或机械手)将工件放置工装板上，连接工件，启动按钮，工件随流水线运行至下一工位。工件在工装板上连接，多工件接口汇总成一个接口，方便实现工件接口的自动对接，并实现了一箱多检，江门真空箱氦检漏设备，大大提高了氦检效率；

②工件连同工装板运行至充高压气体、抽空、充氦三合一工位，充气接头与工装板上的汇总接头自动对接，完成检大漏抽空充氦，真空箱氦检漏设备哪种好，完成后接头自动脱落，工件随流水线从真空箱前门进入，进行氦气检测，完成后箱门垂直提升打开，箱内动力辊筒启动，工件从真空箱后门出来；

③工件氦检完随线体运行出真空箱后，判断合格的、不合格的工件按图1所示分开运行至下一个工位；

④合格工件运行至回收工位，对工件内的氦气进行真空法回收，循环使用。回收工位自动接上接头，检测工件内压力小于设定值时报警，接头自动脱落合格产品下转；

⑤工件运行至下料工位，人工(或机械手)将工件取下氦检线体，空载工装板继续随线体下转至升降机，由底层输送线将工装板返回上料工位；

⑥不合格工件随线体运行至返修小屋，找出漏点返修后的空调两器随线体运行至上料工位重新按上述流程氦检。

这样就捋顺了物流，减少了工件等待时间，真空箱氦检漏回收设备，避免了人工搬运进出箱体。通过自动耐压预抽设备，与多个被检工件自动连接、断开，减少了人工插拔接头次数。