真空氦检漏系统-真空箱氦检漏系统-博为光电|质量可靠

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。

真空高低的原理分析及试验断定

对于汽轮机来说，真空的高低对汽轮机运行的经济性有着直接的关系，真空高，排汽压力低，氦检漏系统，有效焓降较大，被循环水带走的热量越少，机组的效率越高，真空氦检漏系统，当凝汽器内漏入空气后，降低了真空，有效焓降减少，循环水带走的热量增多。通过凝汽器的真空严密性试验结果，可以鉴定凝汽器的工作好坏，以便采取对策消除泄漏点。

因真空系统的漏空气量与负荷有关，负荷不同，处于真空状态的设备、系统范围不同，凝汽器内真空也不同，漏空气量也不同，而且相同的空气漏量，在负荷不同时真空下降的速度也不一样。为此，法规规定，做真空严密性试验时，真空箱氦检漏系统，负荷应在80%额定负荷（有的机组是在额定负荷）下进行。真空下降速度小于0.4kpa/min为合格，超过时应查找原因。另外，在试验时，当真空低于87kpa，排汽温度高于60℃时，应立即停止试验，恢复原运行工况。

氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，氦质谱真空箱检漏系统，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。

灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。

标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念

（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；

（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；

（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。