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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。

真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，真空箱氦检漏设备生产厂家，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。

使用注意事项

1）一些用户在使用氦检漏系统时希望每个箱体一次检测多个工件，以提高检测效率。这样做会有潜在的风险。一是可能存在累积效应，即多个工件累积漏率可能超过报警点，而实际单个工件在许可范围内合格。二是一旦不合格需要单个重检，要耗费公司。每个箱体一次检测多个工件的基础在于工件的合格率在90%以上，而且工件品质较好。

2）由于氦检漏系统属于一种精密检测仪器，对使用环境要求相对苛刻。一是要求工件清洁干燥。二是要求环境温度不能过高、湿度也不能过大。

3）为保证系统使用寿命和稳定运行，系统需要定期维护。比如更换泵油、清洁管道、更换配件等。条件不具备时，须请厂家技术人员作定期保养。

结语

综上所述，氦质谱检漏技术作为一种新型的检漏技术，精度高、、清洁环保。

不同真空范围内的抽气时间计算

高真空-超高真空领域的抽气时间计算

这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在0.2Pa以下，对于高真空领域，要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出，真空箱氦检漏设备，因此，抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。

p(t)———到达压强；

Se———实际抽气速度；

Ql———腔体漏气量；

Qg(t)———腔体内部放出气体量；

p0———初期压强。

气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时，假定一个抽气时间，根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致，真空箱氦检漏回收设备，则重新假定时间，根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复，终让p(t)在所需的真空范围内。

高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150～200℃烘烤处理的两种情况下，后者的气体放出会减少10%左右，因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。

真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料，则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2～3个数量级。内部使用螺钉时，螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出，真空箱氦检设备价格，要在螺钉中心穿孔，或在螺纹侧面开一个出气孔。因此，内部构造越复杂，影响真空的因素就越多，要获得高真空，设计上就更需要经验。