真空箱式氦检漏系统-博为光电|质量可靠-莆田真空箱氦检漏系统

检漏

1.真空计测漏

一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，莆田真空箱氦检漏系统，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。

2.检漏仪测漏

将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术

氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术

工作原理：

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，氦质谱真空检漏，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。

灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。

标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念

（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；

（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；

（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，真空箱式氦检漏系统，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压升测试

压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门，放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高（反弹），将压力增加除以经过时间，可以计算出真空系统的压力上升速率，并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，对于一般的工业真空设备，保压测试时，超过1Pa/hr的压升率就需要调查和解决问题，有些高真空的设备，需要0.5Pa/hr甚至更低的压升率

如果多次测量的压升率基本恒定不变，真空箱氦检漏系统公司，那么很可能系统有真实的泄漏。对应的，随着时间的推移，其压升率下降，即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢，则暗示有虚漏或放气（可能也有小的泄漏）。