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真空系统的可允许漏气率

真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。

（1）粗略真空系统

真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mBar至1mBar；可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。

（2）中度真空系统

真空系统操作压力范围为中度真空，从1mBar至10-3mBar；可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。

（3）高真空系统

真空系统操作压力范围为高真空，真空箱氦检漏系统生产厂家，从10-3mBar至10-7mBar；可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。

（4）超高真空系统

真空系统操作压力范围为超高真空，压力低于10-7mBar；可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒

汽机真空系统检漏方法

氦质谱检漏检漏：链接氦质谱仪器的分析器在凝汽器的真空泵一端，之后拿着氦气喷，喷遍所有的可以漏点，同时保持和分析仪器端点的人员联系，如果端点接收到氦气，肇庆真空箱氦检漏系统，说明喷附近有漏点，再反复查找，争取确定吸空的泄漏点。缺点是，由于氦气易挥发，特别是迅速上漂到一大片面积。难以定为漏点。对于死角难以攀登喷气。类似的方法还有卤素法等。

氦质谱检漏，不适用于空冷岛检漏。空冷岛的露天倾斜结构，使得氦气瞬间挥发掉，特别是遇到有风的天气。

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空箱式氦检漏系统，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，氦质谱真空箱检漏系统，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。