真空箱式氦检漏系统-真空箱氦检漏系统-博为光电|性能稳定

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

不锈钢超高真空容器的焊接

A焊接结构设计

超高真空不锈钢容器焊接的结构设计原则为:

(1)尽可能地减少真空容器表面上的焊缝和焊缝长度。

(2)所设计的真空容器上的焊缝应尽量从容器的内表面上焊接，并尽量采用在焊接中焊缝气孔少、不产生冷热裂纹和不加焊丝的气体保护焊一等离子弧焊、 钨极氢弧焊、电子束焊等焊接方法。

(3)焊缝结构应不影响真空容器内表面的精加工( 达到高的表面光洁程度)。

(4)焊缝结构应便于精加工后的清洗处理。

(5)焊缝结构应设计成便于用氦质谱检漏仪进行检漏的结构。

选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度高，使用普遍的一种检漏仪器。

（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，在质谱室内能与相邻物质很好的分离

（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小.

（3）无毒，非可燃性气体。

（4）惰性气体，不易发生化学反应。

（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，真空氦检漏回收系统，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。

真空检漏的具体方法

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：

①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，真空箱氦检漏系统，会很快发现漏点，真空箱式氦检漏系统，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。

②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些，重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

综上三种问题，通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。