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氦质谱检漏仪的基本原理与组成
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的,现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下,离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,真空氦检漏系统,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算:
R=1.8(MU)^1/2/H
式中,R为偏转半径(cm);H为磁场强度(A/m);M为有效质量,即离子质量和电荷质量之比;U为加速电压(V)。
由上式可以看出,当H和U为定值时,对应于不同的M,有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2,到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流测量设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1、M3)则以不同的偏转半径而被分开
真空设备制造过程中的检漏
在设备的加工阶段,有必要跟随加工工艺(尤其是焊接工艺)及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件,焊缝质量要严格检漏,不合格的及时重焊、补焊并重新检漏,符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工,中间过程的检漏十分关键,必要时应该设计、制造专门的检漏工具(如探漏盒、盲板等)。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体,好首先组焊完内层室壁并检漏,确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理,对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况,必须首先对室壁做严格检漏,真空箱氦检漏系统,然后才能包覆外层结构。
在条件允许情况下,所有真空法兰与其接管(包括真空室体法兰与室体壁)均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰,即便在安装调试阶段可能满足了密封要求,但在设备使用过程中,受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放,从而导致法兰变形和密封性能下降。
加工制造过程中,严格执行真空作业卫生和作业规范,对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后,需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面,应该具有保护措施,严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时,更应精心作业,尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。
1.什么是真空真空定义成稀释的空气,真空箱氦检漏系统哪家好,或者相应的状态,如压力或密度比外界环境大气少.因为大气压在地球表面不同的地方是波动的,真空箱氦检漏系统维修,随海拔升高而减少,所以不可能给出真空范围的上限。
2.真空总述接下来,为了获得真空,必须在腔体中产a生一个小于大气压的压力.由于地球有万有引力,不同海拔高度由不同大气压力
如果P=P0/2,由公式可以得到: h 1/2=5548m, 换句话说,大气压力每5548米减半.喷气式客机的巡航高度大约是地球表面上10千米,大气压力减到了290mbar. 探空气球在30千米测得压力24mbar. 这一类压力可以归为低真空范围内. 距地球表面更远的距离,如轨道高度250千米,压力减少到E-5到E-6 mbar,更远的空间可到超高真空E-14mbar。 实际利用压力差来产生力是在1000-1mbar范围内,在这种范围内,真空度是用大气压的百分比来表示的。
在地面上要达到在太空中一样的真空需要很多手段,各种真空泵用来获得各种不同的压力。