博为光电|精度高(多图)-广州锂电池氦检测漏机

氦质谱仪查漏技术介绍

氦质谱仪查漏法是一-种在线式、易操作，且灵敏度高、抗干扰的监测方法。其在各行业查漏应用中，有真空法、正压法、真空压力法、背压法等4种方法。而在各发电厂的查漏工作中，多采用真空法和正压法。发电机及压力容器、压力管道等的气密性检查多采用正压法，而汽轮机真空系统查漏则多采用真空法进行氨质谱检漏。

该方法使用的气体喷逐块、逐区域地对汽轮机真空系统各设备、各部位喷射氦气。如果某处存在泄漏点，作为检漏示踪气体的复气将随同环境中的空气被吸人，終从真空泵气水分离器排放管排出，通过监测探头在抽气器出口抽吸氦气及其他不凝性气体形成的混合气体，并通过氮质谱仪内的质谱分析功能，分析氮气分子颗粒在靶板上的物质量，判断被检位置的泄漏空气相对量17-81。

在检漏过程中，根据氦质谱仪显示屏上示数变化的情况，判断被检位置是否泄漏，及泄漏的程度。

氦质谱检漏仪的结构

收集极

收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，锂电池氦检测漏机，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。

真空系统

仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的检漏仪其真空系统有较大的差别。图5为常见的普通型氦质谱检漏仪真空系统。

氦质谱检漏仪以及氦质谱检漏，在实际应用中，氦质谱检漏顾名思义一般都会采用氦气作为的示漏气体，这是为什么呢？

氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：

1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。

2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。

3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外，氦气作为一种惰性气体，性质不活泼，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。