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氦质谱检漏仪的基本原理与组成
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的,现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下,离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,真空箱式氦检漏系统,将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算:
R=1.8(MU)^1/2/H
式中,R为偏转半径(cm);H为磁场强度(A/m);M为有效质量,即离子质量和电荷质量之比;U为加速电压(V)。
由上式可以看出,厦门真空箱氦检漏系统,当H和U为定值时,对应于不同的M,有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2,到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流测量设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1、M3)则以不同的偏转半径而被分开
使用注意事项
1)一些用户在使用氦检漏系统时希望每个箱体一次检测多个工件,以提高检测效率。这样做会有潜在的风险。一是可能存在累积效应,真空箱氦检漏系统价格,即多个工件累积漏率可能超过报警点,而实际单个工件在许可范围内合格。二是一旦不合格需要单个重检,真空氦质谱检漏仪,要耗费公司。每个箱体一次检测多个工件的基础在于工件的合格率在90%以上,而且工件品质较好。
2)由于氦检漏系统属于一种精密检测仪器,对使用环境要求相对苛刻。一是要求工件清洁干燥。二是要求环境温度不能过高、湿度也不能过大。
3)为保证系统使用寿命和稳定运行,系统需要定期维护。比如更换泵油、清洁管道、更换配件等。条件不具备时,须请厂家技术人员作定期保养。
结语
综上所述,氦质谱检漏技术作为一种新型的检漏技术,精度高、、清洁环保。
由于空气中氦气,氦质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出极为弱小的讯号,从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体,具有分子小,质量轻,扩散快,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。