真空箱式氦检漏系统-博为光电-厦门真空箱氦检漏系统

氦质谱检漏仪的基本原理与组成

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。

目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，真空箱式氦检漏系统，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。

由上式可以看出，厦门真空箱氦检漏系统，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。

利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开

使用注意事项

1）一些用户在使用氦检漏系统时希望每个箱体一次检测多个工件，以提高检测效率。这样做会有潜在的风险。一是可能存在累积效应，真空箱氦检漏系统价格，即多个工件累积漏率可能超过报警点，而实际单个工件在许可范围内合格。二是一旦不合格需要单个重检，真空氦质谱检漏仪，要耗费公司。每个箱体一次检测多个工件的基础在于工件的合格率在90%以上，而且工件品质较好。

2）由于氦检漏系统属于一种精密检测仪器，对使用环境要求相对苛刻。一是要求工件清洁干燥。二是要求环境温度不能过高、湿度也不能过大。

3）为保证系统使用寿命和稳定运行，系统需要定期维护。比如更换泵油、清洁管道、更换配件等。条件不具备时，须请厂家技术人员作定期保养。

结语

综上所述，氦质谱检漏技术作为一种新型的检漏技术，精度高、、清洁环保。

由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。