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氦质谱检漏仪，气密性检测仪的选择

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率显围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

启动时间: ≤5min

响应时间: <2S

检漏口高压力: 300Pa

极限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG

正压漏孔的校准

正压漏孔校准装置一般采用定容法和恒压法两种工作原理。在此基础上又研究了累积比较法、标准气体法、流量比较法、压力比较法、质谱计法等各种方法，但都以定容法和恒压法为基础。1997年美国材料和测试学会“校准气体参考漏孔的标准规范”。该规范毛细管—水柱位移法为恒压法，气体累积法为定容法。欧洲标准化1995年(CENTC138WFG/6n3rev3)也采用类似毛细管—水柱位移法。瑞士Balzers公司在1995年建立了基于恒压法的正压漏孔的校准系统。我国是采用恒压法测量，测量范围10-7—10-5Pam3/s。我们采用质谱比较法校准，准确数据由510所科委计量站提供。

真空漏孔用于正压时，该漏孔的标定值要改变。正压检测漏率范围10-3—10-8Pam3/s是过渡流。过渡流的计算较复杂，如用真空漏孔替代正压条件进行换算，工程应用上较为不便，制冷系统检漏仪检漏仪，因此必须正压检漏时用正压标准漏孔做比较准。正压漏孔在使用时，其供气压力氦气浓度应一致。正压漏孔的研究国内外起步均比较晚，但它已在大型燃料贮箱、运载火箭氢氧系统成功应用。但是正压漏孔的制作、校准、应用与其气流特性均需在实践中进一步完善发展。

氦质谱检漏仪运用行业的发展

（1）电力行业SF6高压开关与氧化锌避雷器是发电厂及旷野输变电的必要构成一部分，时时因透露造成大面积或局部停电，影响家打造生产，又故障人们的正常生活生计。因此带来的经济流失无意是难以估计的。

①低压开关在连箱是铝铸件，经常简单有砂眼，且漏孔组织芜杂，不易清洗。一般采纳检漏盒或氦罩法，检漏仪公司检漏仪，即把被检件抽真空，尔后向罩内充入氦气，等候定然工夫，必然总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

②腐蚀锌避雷器，是依照电压高低申请，厦门检漏仪，采用差别截面积、不合厚度和一致数量的侵蚀锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其任务情理是在高压输出中如遇雷击，侵蚀锌片电阻变小，检漏仪设备检漏仪，大电流对地短路，输电旅程被珍爱。假设透露造成表里不有压差，内部潮湿气体有大概进入，而破不好腐蚀锌片共性，造成。

③电力行业中，电厂的检漏、低压变压器、低压电容器、低压开关管及其他元器件也都响应的采纳氦质谱检谱检漏仪，用一致法子进行检漏。

（2）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（3）真空行业，仪器、仪表行业管道、探讨、阀门、涟漪管、各类真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速曝光机、激光轴会萃器、高能、加快器、辐照加快器、镀膜机、薄膜真空计，盐雾试验箱。

（4）核出产业铀云散摆设、存储摆设、核发电摆设。

（5）制冷行业冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

（6）不锈钢保温器皿真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。