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氦检漏法
氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体,由于氦气的荷质比小,在检漏过程中不受其它气体的干扰,因此,它是一种反应灵敏,能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。
运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是:通过其部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同荷质比的离子在场中彼此分开,而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子,就会得到按照荷质比大小,依次分开排列的质谱图,真空氦检漏回收系统,这就是质谱。专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是,当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后,如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直,它的运动轨迹为圆,不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹,这样,不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开,如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉,真空氦质谱检漏仪,而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时,氦气进入检漏仪氦质谱室中,使仪器发生灵敏的反应,龙岩真空箱氦检漏系统,产生检漏的作用。
由于空气中氦气,氦质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出极为弱小的讯号,从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体,具有分子小,质量轻,扩散快,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
1.什么是真空真空定义成稀释的空气,或者相应的状态,如压力或密度比外界环境大气少.因为大气压在地球表面不同的地方是波动的,随海拔升高而减少,所以不可能给出真空范围的上限。
2.真空总述接下来,为了获得真空,必须在腔体中产a生一个小于大气压的压力.由于地球有万有引力,真空箱氦检漏系统哪家好,不同海拔高度由不同大气压力
如果P=P0/2,由公式可以得到: h 1/2=5548m, 换句话说,大气压力每5548米减半.喷气式客机的巡航高度大约是地球表面上10千米,大气压力减到了290mbar. 探空气球在30千米测得压力24mbar. 这一类压力可以归为低真空范围内. 距地球表面更远的距离,如轨道高度250千米,压力减少到E-5到E-6 mbar,更远的空间可到超高真空E-14mbar。 实际利用压力差来产生力是在1000-1mbar范围内,在这种范围内,真空度是用大气压的百分比来表示的。
在地面上要达到在太空中一样的真空需要很多手段,各种真空泵用来获得各种不同的压力。
如何判断真空系统是否存在真实的泄漏
压降曲线分析
真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一,经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据,通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如,通过下图所示的压降曲线,就可以判断是否存在泄漏。
工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下,如果存在真实的泄漏,从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢,压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时,气体缓慢释放并且放气率越来越小,系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢,压降曲线与上图中间那条曲线类似。