广州真空箱氦检漏系统-真空箱氦检漏系统价格-博为光电

真空检漏技术

一、真空系统的漏气

1.漏气的定义

真空系统不可能不漏气，但符合以下条件可视为不漏气：

（1）真空系统的终压力可以达到；

（2）在正常操作时间范围内，真空系统可以达到并维持预期的压力范围。

2.漏气的判定

当真空系统操作时不能达到预期的压力范围，或者操作时间超过正常操作时间才能达到预期的压力范围，此时常被怀疑为漏气。但这有可能是真空室器壁吸附的气体被释放出来造成的，此即为假漏。因此，需要在检漏之前判断真空系统是否为假漏。

常用简单判断假漏与真漏的方法为：将真空系统停止抽气，然后观察真空计的变化。若真空计压力一直上升，则为真漏；若压力上升到一定值后停止不变，则为假漏。

自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践

整套使用PLC自动化控制，触摸屏显示信息流程，自动化控制流程如下：

①操作员(或机械手)将工件放置工装板上，连接工件，启动按钮，真空箱氦检漏系统哪家好，工件随流水线运行至下一工位。工件在工装板上连接，多工件接口汇总成一个接口，方便实现工件接口的自动对接，并实现了一箱多检，大大提高了氦检效率；

②工件连同工装板运行至充高压气体、抽空、充氦三合一工位，充气接头与工装板上的汇总接头自动对接，完成检大漏抽空充氦，完成后接头自动脱落，工件随流水线从真空箱前门进入，进行氦气检测，真空箱氦检漏系统价格，完成后箱门垂直提升打开，箱内动力辊筒启动，工件从真空箱后门出来；

③工件氦检完随线体运行出真空箱后，广州真空箱氦检漏系统，判断合格的、不合格的工件按图1所示分开运行至下一个工位；

④合格工件运行至回收工位，对工件内的氦气进行真空法回收，循环使用。回收工位自动接上接头，检测工件内压力小于设定值时报警，接头自动脱落合格产品下转；

⑤工件运行至下料工位，人工(或机械手)将工件取下氦检线体，真空箱氦检漏系统批发，空载工装板继续随线体下转至升降机，由底层输送线将工装板返回上料工位；

⑥不合格工件随线体运行至返修小屋，找出漏点返修后的空调两器随线体运行至上料工位重新按上述流程氦检。

这样就捋顺了物流，减少了工件等待时间，避免了人工搬运进出箱体。通过自动耐压预抽设备，与多个被检工件自动连接、断开，减少了人工插拔接头次数。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。