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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

外漏和内漏

我们平时所讲的泄漏一般是指外漏，即从真空腔体或管道的外部向内部泄漏；而内漏是指两个本应隔离的真空腔室之间，真空箱氦检漏系统报价，通过阀门隔离的两段真空管道之间，或真空腔室与管道之间，发生了泄漏。

罗茨泵上方的阀门在高真空时应该是关闭的，如果该阀门关闭不严，高真空时气体就会从阀门的下面向右侧泄漏，这种泄漏就是内漏。和外漏类似，内漏也会造成高真空抽气时间延长、极限真空变差等问题。

外漏可以方便地通过检漏仪直接找到，而内漏却只能通过分段保压等方式做预判断，然后拆掉的阀门一侧的管道，然后再进行检漏（或者在阀门的一侧连接检漏仪，向另一侧的管道内充入氦气进行检漏）。

不锈钢焊接中存在的问题

不锈钢材料的耐腐蚀的性能和耐高、低温应用的性能都是很好的，但是经过焊接后的不锈钢焊缝及其热影响区的情况就大为不同了，它存在着裂纹、气孔、脆化、晶粒粗大的现象。因此，真空箱氦检漏系统维修，在制造超高真空和一般的高真空容器时，必须十分重视这个问题。

奥氏体不锈钢在焊接中及焊接后存在的问题主要有:

(1)焊缝中的热裂缝。奥氏体不锈钢焊接工艺中应该注意的问题是焊缝金属的热裂缝(图3-3)，氦检漏系统，在焊接热影响区的晶界上析出铬的碳化物以及产生焊接应力。

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

(a)焊缝中的纵向裂缝; (b)焊缝中的横向裂缝; (c)焊縫中弧坑裂缝;(d)热影响区内的横向裂缝; (e) 热影响区内的纵向裂缝

热裂缝也称为结晶裂缝，是在焊接熔池的一次结晶过程中，当焊缝金属处于固-液体状态时形成的，它们是由于相邻的晶体沿晶间夹层被分开的结果。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，东莞真空箱氦检漏系统，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。