氦检漏回收系统-真空箱氦检漏系统-博为光电|产品众多(查看)

选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，是示踪气体检漏中灵敏度高，使用普遍的一种检漏仪器。

（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，氦检漏回收系统，在质谱室内能与相邻物质很好的分离

（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小.

（3）无毒，非可燃性气体。

（4）惰性气体，不易发生化学反应。

（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术

（1）氦气充注及回收设计：首先、务必保证安全问题，因为涉及到高压气体因此储气罐务必设置安全阀及压力适时检测装置，保证压力容器安全。第二、压力管道务必密封良好，防止充气及回收过程中空气混入到系统中，造成氦气纯度下降。第三、需要有氦气浓度检测装置，保证在氦气压力及纯度达不到要求时，氦质谱真空箱检漏系统，补充新鲜的氦气。第四、具备虑油装置，防止氦气增压泵以及真空泵中的油蒸汽进入气罐，污染系统。

（2）抽空系统设计：抽空系统设计应本着适度、够用、满足需求原则。系统冗余过大，真空箱氦检漏系统，会导致制造成本偏高，也不离于节能环保。

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术

（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕， 表面光滑，真空箱氦检漏系统批发， 焊后焊缝表面磨光， 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁， 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力，尽量避免斜向受力。

（2）真空管路设计：真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配，避免大马拉小车现象。

（3）检漏系统设计：首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能，系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警，防止出现大漏后，继续执行氦检工艺， 造成系统累积大量氦气而无法清除，也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏，应有清氦措施，大程度的清除氦本底。