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真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。

定期的泄漏检测很重要

大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。

真空设备安装调试过程中的检漏步骤

安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，佛山真空箱氦检漏设备，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，给总体检漏带来极大困难。真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：

1、了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点部位。

2、根据所规定的大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，并从经济、快速、可靠等原则出发，正确选择好检漏方法或仪器，真空箱氦检漏设备生产厂家，准备好检漏时所需的辅助设备后拟定切实可行的检漏程序。

3、应对被检件进行好清洁工作，取出焊渣、油垢后再按真空卫生条件进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件。清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤，进行清洁处理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，而且也保护了检漏仪器。

检漏技术的发展

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点，关系到企业的生产效率与经营成本。

检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术，多年来，真空箱氦检设备厂家，人们创造了很多检漏方法。

上世纪四十年代以前的技术非常简单，比如气泡法、电离计法等。当时，漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。

后来，经过不断的完善与提高，在1950~1960年代，研制者朝着提高灵敏度的方向努力，使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。

然而实践证明，单一追求高灵敏度并非合适，这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来，人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。

当今常见的氦质谱检漏仪，真空箱自动氦检漏设备，灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为***的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪，一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。

这些技术上的进步，使检漏工作的效率和便利性得到很大提升，应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。