博为光电|精度高(图)-氦质谱真空检漏-合肥真空箱氦检漏系统

关于真空检漏

大容许漏率

真空系统漏气是的，真空箱氦检漏系统生产厂家，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和大容许漏率的概念联系在一起的。

对于动态真空系统，合肥真空箱氦检漏系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为大容许漏率。动态真空系统的大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤1/10PwS (1)

式中Pw----系统工作压力

S----系统的有效抽速

对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为大容许漏率。如果要求在时间t内，容积为V的系统的压力由p升至pt，则其大容许漏率qLmax应满足

qLmax≤(pt-p)V/t (2)

选择氦气作为示踪气体：用氦气作示踪气体的质谱检漏仪，氦质谱真空检漏，是示踪气体检漏中灵敏度高，使用普遍的一种检漏仪器。

（1）He是一种标准元素，原子质量数为4，真空箱氦检漏系统价格，在质谱室内能与相邻物质很好的分离

（2）空气中He的本底浓度非常低-5ppm，使得本底噪声信号小.

（3）无毒，非可燃性气体。

（4）惰性气体，不易发生化学反应。

（5）氦气可以存储在各种尺寸的圆筒容器内，并且高纯度能够满足为苛刻的要求。

真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。

其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。

所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。