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氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。为什么要检漏：泄漏与密封相对应。在许多情况下，我们需要密封一定的空间，以防止气体或液体在压力下流入或流出这个空间。

氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，定位准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。向容器外喷洒跟踪气体a，用仪器检查容器内是否有气体a。这种方法可以检测泄漏点和泄漏率。这种泄漏检测方法称为真空泄漏检测。氢氦是一种理想的跟踪气体:空气中含量低、重量轻、运动速度快、线性运动距离长。在实际使用中，相对容易获得，可以大量使用。

检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。