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发布时间:2022-02-05 17:06:00 作者:博为光电
氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题,影响设备的正常使用。氦是惰性气体,不腐蚀设备,因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。氢氦是一种理想的跟踪气体:空气中含量低、重量轻、运动速度快、线性运动距离长。在实际使用中,相对容易获得,可以大量使用。
传统仪器采用反流法放置在主泵前端,使检验部件放置在检漏仪前。因此,它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统,灵敏度可达10-12微米。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪,通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪,是一种只检测氦的特殊质谱仪,可以屏蔽其它品质的气体。氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。
氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s,广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦检漏设备的维修注意事项:在安装过程中,应避免安装部位泄漏,并且可以自己检查,氦检漏设备维护,泵定期保养。氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。
检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先,用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求,需要从制造商那里购买新产品。氦质谱检漏仪的基本原理是,不同质荷比的离子在磁场中运动时,其偏转半径不同,从而实现不同类型离子的分离。氦质谱检漏仪内漏,每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封,密封寿命有限,使用5年以上,容易出现密封故障。
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