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氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。

氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。单级磁偏转换仪是一种灵敏度较高的仪器，广泛应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，其灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏，灵敏度可达10-12Pam3/s。

单级磁偏转型氦质谱检漏仪

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；放大静电计管和冷阴极电离规。

在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2 ，所以被分离出来。 (me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

背压法氦质谱检漏的简单步骤

质谱检漏实际应用中有很多具体的方法，其中背压法也是其中一种，我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。

背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤：

首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高，这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。

然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件，在不具备气源时可以静置被检件，这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中，会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失，导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长，示漏气体的分压将越大。

第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室，真空室与检漏仪相连，进行检漏。抽真空后，由于压差作用，示漏气体通过漏孔从被检件内部流出，而后经过真空室进入检漏仪，根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。

氦质谱检漏仪在不同行业的应用

随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦质谱检漏仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦质谱检漏仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦质谱检漏仪在电厂检漏领域被广泛使用。对于目前国际上常用的检漏方法，氦气检漏法被公认为***可靠的方法之一。消除了水泡简陋发检漏灵敏度低、判断较为困难、误判较多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护费用较高的缺点。