氦检漏系统规格齐全「博为光电」

（4）耐压要求：对产品加压到实验压力，保压一段时间，降到常压，经检查无泄漏和异常变形。空调两器氦检漏基本要求（1）耐压测试要求：一般两器在执行氦检漏之前会充注一定压力（一般不超过3。5MPa）的高纯氮气或者干燥的压缩空气，对工件作耐压测试，如果不出现明显变形及大漏，再执行氦检测工艺。（2）氦检测精度要求：由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同，但一般都会遵循行业标准，或比行业标准要求稍高。

（2）真空管路设计：真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配，避免大马拉小车现象。（3）检漏系统设计：首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能，系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警，防止出现大漏后，继续执行氦检工艺，造成系统累积大量氦气而无法清除，也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏，应有清氦措施，大程度的清除氦本底。

1)首先制冷剂液体漏率转变为气体漏率：3)确定系统的分流因子在实际检漏时，由于有辅抽泵及其他因素的影响，并非所有的氦气都进入到氦检漏仪，因此，氦气存在一定的程度的分流。也就是说检漏仪指示漏率并非工件的实际漏率。要测定系统的分流因子，需要执行以下步骤。将仪器调整至佳工作状态，将一个已知漏率（Q1）的标准漏孔置于真空箱内，开启系统，观察检漏仪指示漏率（Q2），则系统的分流Q3=Q1/Q2。

背压法氦质谱检漏采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。