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发布时间:2022-01-04 05:39:00 作者:博为光电
氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时,氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后,由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力,因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。
根据氦气储气库位置与样品的不同关系,氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法,总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。
得到氦质谱检漏器的主要性能指标。
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示器可以达到较大值,漏率指示器不能立即恢复到零,需要一定时间下降,通常由于氦的吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
氦质谱检漏仪的功能特点:
1、支持正压检漏,负压检漏。
2、自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果。
3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。
4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。
5、支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底。
6、机器的性能支持长时间在线测试。
7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。
8、配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤。
9、双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击。
10、支持定制检漏工作台,更加便捷使用。
检漏仪内部泄漏
处理方法
不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏,可先采用灌胶密封处理,若密封性仍不能满足要求,需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏,则对密封圈进行更换,并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净,且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气,会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封,若有漏,更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封,该密封环节在检测时极易被忽视,此处若有漏可***行灌胶处理,但探针间距很小,可操作空间有限,若灌胶后密封效果不佳,则从厂家购买新品进行更换。
检漏仪使用中注意事项
检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:
①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。
②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。
③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。
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