氦质谱真空检漏承诺守信 博为光电性能稳定

与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。

随着社会经济的高速发展，空调已被人们广泛应用于日常生活中，提高了人们的生活环境和舒适水平。空调是非常重要的，特别是保证空调蒸发器和冷凝器（即空调两器）不泄漏才能保证其发挥正常的制冷和制热作用，所以必须在生产上保证其不泄漏，降低空调的维修费用和客户投诉。GB7725中，要求空调器的制冷系统在正常的制冷剂充灌量下，用灵敏度1*10-6Pa。

氦检漏法氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa。m3。s-1。运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，这就是质谱。