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发布时间:2021-12-31 03:25:00 作者:博为光电
检漏仪使用中注意事项
检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:
①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。
②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。
③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。
氦质谱检漏仪性能试验方法
反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间,记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后,停止送氦,其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。
工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
一、氦质谱检漏仪的应用范围:
在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题。
二、氦质谱检漏仪的功能特点:
1、支持正压检漏,负压检漏。
2、自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果。
3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。
4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。
5、支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底。
6、机器的性能支持长时间在线测试。
7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。
8、配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤。
9、双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击。
10、支持定制检漏工作台,更加便捷使用。
氢质谱检漏仪系统的氨质谱检漏仪关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气 ,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
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