莆田检漏仪氦质谱规格齐全「博为光电」

氦质谱检漏仪的结构

收集极

收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。

真空系统

仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的检漏仪其真空系统有较大的差别。图5为常见的普通型氦质谱检漏仪真空系统。

氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。

根据氦气储气库位置与样品的不同关系，氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法，总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。

得到氦质谱检漏器的主要性能指标。

1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。

2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。

3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间

双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

年泄漏率大的标准漏孔，要注意经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。

高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。