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发布时间:2021-12-27 11:53:00 作者:博为光电
尼尔博士将设计图纸全部交给了通用电气公司并签订了合同,不久后,橡树岭扩散工厂所用的氦质谱检漏仪便全是由美国通用电气公司生产的,在生产过程中, 又作了不少的改进。扩散泵前增加的冷阱便是为改进氦质谱检漏仪所作的新贡献。
1946年初,真空电子工程公司与电动力学公司合并后也开始生产销售的氦质谱检漏仪。当时, 通用电气公司的氦质谱检漏仪已有若干个型号的产品。真空电子工程公司是由战时的Kellex公司的检漏小组的几位研究生创办的,他们是锐伯,尼尔肯。60年代后, 通用电气公司不再生产检漏仪。几经合并后, 检漏仪由Ametek公司生产。真空电子工程公司生产的检漏仪基本上笼断了这个领域达40年之久。现在用户已可以自由选择国内外生产的不同型号、规格的氦质谱检漏仪。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。
2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪从以往的单方面领域的应用到现在多领域的应用,如:航空航天高科技工业、电力行业、电子行业、真空仪器仪表行业、核工业、制冷行业、不锈钢保温器皿等。其实氦质谱检漏仪的领域应用广发也是代表科技的一大进步,常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。
氦质谱检漏仪适用于元件检漏的要求,灵活性测试,高灵敏度,快速于的结果,快速启动,移动性和系统的可靠性。
氢质谱检漏仪系统的氨质谱检漏仪关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气 ,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
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