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发布时间:2021-12-27 09:37:00 作者:博为光电
氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件,还有几组主要电路:
1)离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2)发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3)离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4)真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5)灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,以保护灯丝。
6)其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差加,这在各自的说明书中都有说明,这里不同赘述。
氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器,具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中,采用的是通用型检漏仪器,具有较高的灵敏度。
氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。单级磁偏转换仪是一种灵敏度较高的仪器,广泛应用于检测各种真空系统和零件的漏电,具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比,背景噪声明显降低,其灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s,适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位,因而具有在高压条件下能检漏,不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏,灵敏度可达10-12Pam3/s。
氦质谱检漏的具体方法——背压法
背压法是真空系统检漏中的基础方法之一,结合了压力检漏与真空检漏两者的特点。氦质谱检漏中,背压法的应用原理也是一样的,今天就和华尔升智控一起看下氦质谱检漏方法中的背压法。
背压氦质谱检漏法是一种适用于容积较小被检件的检漏方法,例如半导体一类真空密封器件的无损检漏。它的检漏过程与其他背压法一样包括3个步骤:充压、净化、检漏。
充压过程中,被检件在充有高压氦气的容器中存放一定时间,使氦气经漏孔进入被检件内部,并随着时间的增长,其内部的充气压力及氦分压会逐渐;进入净化阶段后,用干燥氮气等冲刷,或通过静置手段去除吸附在被检件外表面的氦气;将被检件放入真空室并将真空室抽成真空状态,利用压差作用使被检件内部的氦气流出进入检漏仪,检漏仪输出指示判定漏孔的存在及其漏率。
相信不少人可以看出背压法不适合用于有大漏孔的被检件。因为如果漏孔过大,在净化阶段,充入被检件内部的氦气会流失得很快,净化的时间越长,流失得就越严重,会导致检漏仪的输出指示降低,造成漏孔漏率很小的假象,甚至检测不出漏孔。因此在使用背压氦质谱检漏法时,除了避免用于大漏孔的被检件检漏外,还要注意适当充气压力、延长在高压氦气中的浸泡时间,同时缩短净化时间,来提高检漏灵敏度。
折叠手动便携式检漏仪
手动便携式检漏仪的显著优点:
(1):手动便携式检漏仪是一款实用的检漏仪,可覆盖广大的应用领域,极具竞争性的价格及较低的使用成本,大抽速前级泵的设计,可缩短抽气时间,提高使用效率;
(2)自我保护功能:在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能,系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空,且不需要液氮;
(3)结构灵活:可采用主机与前级泵单独采买,前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵,对于此款检漏仪,您既可选择带有连接配件的主机形式,也可选择安装在两轮小车上的整体形式。
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