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真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术

（1）氦气充注及回收设计：首先、务必保证安全问题，因为涉及到高压气体因此储气罐务必设置安全阀及压力适时检测装置，保证压力容器安全。第二、压力管道务必密封良好，防止充气及回收过程中空气混入到系统中，造成氦气纯度下降。第三、需要有氦气浓度检测装置，保证在氦气压力及纯度达不到要求时，补充新鲜的氦气。第四、具备虑油装置，防止氦气增压泵以及真空泵中的油蒸汽进入气罐，污染系统。

（2）抽空系统设计：抽空系统设计应本着适度、够用、满足需求原则。系统冗余过大，会导致制造成本偏高，也不离于节能环保。

由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。

真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等

真空系统的可允许漏气率

真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。

（1）粗略真空系统

真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mBar至1mBar；可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。

（2）中度真空系统

真空系统操作压力范围为中度真空，从1mBar至10-3mBar；可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。

（3）高真空系统

真空系统操作压力范围为高真空，从10-3mBar至10-7mBar；可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。

（4）超高真空系统

真空系统操作压力范围为超高真空，压力低于10-7mBar；可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒